设备特点：

立式旋转结构：垂直设计：减少颗粒沉降污染，便于大尺寸或长条状基底的装载。

动态密封：旋转轴与真空腔体之间采用金属波纹管或磁流体密封，确保在旋转状态下仍能维持高真空或正压气氛。

高温加热系统：

加热元件：采用电阻丝（≤1100℃）沿炉膛圆周均匀布置，保证径向温度均匀性。

多温区控温：可配置双温区或三温区，精确控制轴向温度梯度，满足复杂工艺需求。

炉管材质：高纯石英管（透明，耐高温，化学惰性好），便于观察内部过程。

智能控制系统：

人机界面：配备触摸屏或计算机软件，实时显示温度、压力、转速、气体流量等参数，支持数据记录与导出。

联网功能，通过RJ45接口，采用TCP/IP协议，可以让系统与上位机相连（上位机需安装相应软件）；

真空与气氛系统：

可选配机械泵（或分子泵）实现高真空环境，

可选配多路质量流量控制器（MFC）精确控制多种工艺气体（如Ar, N₂, H₂, SiH₄, NH₃）的流量。

可选配尾气处理装置，安全处理有毒、易燃废气。

高精度与高均匀性：

炉内有效工作区温度均匀性通常优于 ±5°C。

旋转+多面加热的设计，确保薄膜沉积的厚度均匀性和成分一致性达到高水平。

设备名称

智能立式旋转沉积炉

规格型号

NBD-LTO1200-120TIFN-150

供电电源

AC220V 50HZ

额定功率

2.4KW

控温精度

±1℃

加热元件

合金电阻丝

传感器类型

K型热电偶φ1*250mm

Tmax

1200℃

长期工作温度

≤1150℃

推荐升温速率

≤10℃/min

炉管类型及尺寸

石英管φ120*3*570mm

雾化气进气管

石英管φ16*2*380mm

炉膛温区尺寸

Φ150*195mm

浮子流量计

0.5-8L/min

手摇丝杠滑台

行程430mm

沉积样品

样品台槽30*30mm

炉体尺寸

长855*高1795*深530mm

炉体重量

约135KG

控制系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

温度精度

+/- 1℃

真空度：10Pa（机械泵）

净重

约495KG

设备使用注意事项

1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2、炉膛连续使用产生的轻微裂纹属于正常现象，不影响设备的正常使用；

服务支持

一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件）。