PECVD(固液蒸发防冷凝装置)
发布时间： 2025-01-07 11:39:42 浏览次数：102
在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺中，前端配备液态气相发生器（Liquid to Vapor Generator），后端配备真空泵尾气处理罐（Condensation Prevention Exhaust Gas Treatment Tank for Vacuum Pumps），可以构建一个高效、环保且稳定的薄膜沉积系统。这种配置不仅能够确保反应气体的精确控制和均匀传输，还能有效防止尾气中的冷凝现象，避免有害物质在管道或设备内部形成积聚，保护环境和操作人员健康。
应用领域
1. 半导体制造：用于制备硅基器件上的绝缘层、导电层等，如二氧化硅（SiO₂）、氮化硅（Si₃N₄）等。
2. 光伏产业：生产太阳能电池板所需的减反射膜、背场接触层等。
3. 光学涂层：为镜头、镜子等光学元件提供高反射率或低反射率的涂层。
4. 微电子机械系统（MEMS）：制造微小尺寸的传感器、执行器等器件。
 | 设备特点： 1. 精密温控系统 •PID调节：采用先进的PID算法，实现对蒸发温度的精确控制，确保前驱物能够在最适宜的温度下蒸发。 •快速响应：具备快速升温/降温的能力，满足不同工艺流程的需求。 2. 高效的蒸发 •优化设计：蒸发器结构经过优化设计，最大化蒸发效率的同时减少残留物质的积累。 3. 可靠的防冷凝措施 •真空泵防冷凝尾气处理罐用于去除或减少真空泵排放气体中的有害物质，如挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体、粉尘等，以确保符合环保标准，并保护环境和操作人员健康。 4. 智能化操作界面 •触摸屏控制：提供直观易用的触摸屏界面，用户可以轻松设置参数并监控运行状态。 •数据记录与分析：自动记录关键运行数据，并生成报告，便于后续分析和改进。 | |||||||
设备名称 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | |||||||
规格型号 | NBD-PECVD1200-80TID4ZY | |||||||
额定功率 | 7.5KW+1.5KW | |||||||
供电电源 | 三相380V 50HZ | |||||||
射频频率 | 13.56Mhz | |||||||
射频功率范围 | 0-500W | |||||||
沉积加热额定功率 | 2.5KW | |||||||
蒸发器额定功率 | 1.3KW | |||||||
伴热带额定功率 | 75W | |||||||
沉积额定温度 | 1150℃ | |||||||
蒸发器额定温度 | 400℃ | |||||||
伴热带额定温度 | 150℃ | |||||||
控温精度 | ±1℃ | |||||||
传感器类型 | K型热电偶 | |||||||
Tmax | 1200℃ | |||||||
升温速率 | 1℃/H-20℃/Min | |||||||
炉膛尺寸 | 一温区Φ150*200；二温区Φ150*200 | |||||||
炉管尺寸 | 石英管φ80*1400mm | |||||||
四路进气 | 质量流量控制器规格： S500 50SCCM 两路：Φ6.35双卡套 氮气标定 S500 30SCCM 一路：Φ6.35双卡套 氮气标定 S500 1000SCCM一路：Φ6.35双卡套 氮气标定 | |||||||
炉体尺寸 | 2230*800*1300mm | |||||||
控制系统 |  | 1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。 | ||||||
温度精度 | ±1℃ | |||||||
加热元件 |
| Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | ||||||
液态蒸汽发生器+蠕动泵 |  | 该系统能够精确控制液体前驱物的输送，并将其高效转化为气态，确保反应气体的均匀传输，从而提高了薄膜沉积的质量和效率。这种组合特别适用于需要高精度流量控制和稳定蒸发的应用场景。 | ||||||
真空泵尾气处理罐 |  | 用于去除或减少真空泵排放气体中的有害物质，如挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体、粉尘等，确保排放符合环保标准，并保护环境和操作人员健康。 | ||||||
净重 | 260kg | |||||||
设备使用注意事项 | 1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏； 3、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。 4、供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。 5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态； 6、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃ 7、加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若绝对压力表读数大于0.15MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。 | |||||||
服务支持 | 一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件）。 | |||||||
销售热线： 0371-6320 2801
0371-6320 2805
售后服务： 0371-6320 2805
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地址：郑州·新郑·新华街道竹园8号
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电话：400-000-3746