该尾气装置处理主要介质

硅烷 SiH4、磷烷 PH3、锗烷 GeH4、二氧化硅 SiO2、硼烷 B2H6、三氟化硼 BF3、一氧化二氮(笑气)N2O、八氟环丁烷 C4F8、四氟化碳 CF4、四氯化锗 GeCl4、四氯化硅 SiCl4、三氯氢硅 SiHCl3、氯气 Cl2、三氯化硼 BCl3、四氯化碳 CCl4、氯化碳 CCl2、氟气 F2、其它酸碱性尾气硫化氢 H2S、氨气 NH3、盐酸 HCl、硫酸 H2SO4、二氧化硫 SO2、粉尘等及粉尘等。

风机基本控制

尾气处理装置配套风机 1 台（无备用，不采用负压稳定变送器与变频器联动）。

水泵控制

尾气处理装置，磁力驱动泵 1 台，水泵出水口配置过滤装置等。

给排水控制

进水采用手动+自动方式补水，排液采用手动方式排液。

自动加药控制

配 1 套自动加药装置，自动加药装置包含 PH 探头、计量泵、信号传送线、加药桶（不带搅拌）。设置 PH 值 4-6，通过 PH 计反馈信号给计量泵，往循环箱内加药或停止加药动作，具体根据现场实际浓度情况进行设置、调整

安全控制

1、压缩空气在线安全控制：即连续在线通入压缩空气，促使硅烷尾气加速自燃，防止硅烷积聚，压缩空气量 2500L/h，建议压缩机排气压力不小于 7Bar。

2、氮气保护安全控制：在有必要情况下或报警或紧急状况下，紧急接入氮气，稀释保护硅烷气体，降低风险。

3、新风补给安全控制：在应急燃烧筒上设置新风补给安全口，促使硅烷尾气加速自燃，防止硅烷积聚（本项目不设此装置）。

4、防静电安全控制：尾气洗涤装置采用进口 PVC 材质，无静电产生。

5、湿法安全控制：工艺采用湿法喷淋处理，降低硅烷反应产生热量，能有效熄火作用，同时还有水解硅烷作用。

注：此系统可包系统操作、数据监测在本地触摸屏上完成，本地控制盘 PLC 预留TCP/IP 通讯接口，数据打包，预留风机运行、故障干接点，用于与贵方设备联动。

安全、稳定性最高

1、 采用连续的压缩空气补给进风形式，可使有硅烷 SiH4 等废气处理场景充分燃烧，若有氢气 H2 存在则使系统在氢气 H2 的安全极限范围内，保证系统的长久安全运行；

2、 强劲的多次高速雾化预清洗，保证除尘清洗净化能力；

3、 强劲的排泄锥自生少许负压，提高清洗净化能力；

4、 采用燃烧预雾化喷淋段与净化功能段独立进水、喷淋、排液，实现无堵塞问题；

5、 无须停机即可清除处理量大时原进口设备产生的进气口堵塞问题；

6、 独立排液控制系统，配备替换外运储液箱体，一键完成排液、进水工作内容。

（7）100%排放达标承诺

尾气处理后满足相应国家标准国家GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》中相应二级排放标准及GB30484-2013《电池工业污染物排放标准》。

（8）废水排放方便

设备运行一段时间须更换溶液，以便更好地吸收尾气。一般 10-15 天换一次，建议初期看水液运行状况，可一周或二周内制定实施计划，废水理论上偏中性，排放应接入污水管网。排放只需要将相应排污阀门打开即可，操作方便。

（9）服务技术支持能力强

质量保证：本工程主体设备质保 12 个月。质保期内免费保修，除主体设备外的易损易耗件由需方自理，质保期满后成本保修。

本项目装机及运行总功率：＜1.5kw。

（10） 占地面积

本项目占地面积及高度：长(L)1m×宽(W)1.5m×高(H)2.5m（可在室内）。