主要特点

1. 温度控制

高温稳定性：能够稳定维持在1200℃的高温环境，适用于多种材料的CVD过程。

PID智能控温系统：提供高精度的温度控制，通常温度波动范围在±1℃以内，支持多段程序升温曲线设置，适应复杂的工艺需求。

2. 旋转与摆振功能

旋转运动：样品台或反应室可以围绕中心轴旋转，确保气体分布均匀，促进涂层厚度的一致性。

摆振振动：除了旋转外，还配备了摆振装置，使样品在三维空间内轻微振动，进一步提高涂层的均匀性和致密性。

3. 自动进出料系统

自动化操作：配备自动进出料系统，实现物料的连续进料和出料，减少人工干预，提高生产效率。

安全可靠：自动进出料系统采用先进的机械臂或传送带技术，确保操作的安全性和可靠性。

灵活性：可根据不同批次的样品尺寸和形状进行调整，适应多样化的实验需求。

4. 气氛控制

多种气氛选择：支持真空、惰性气体（如氮气、氩气）、还原性气体（如氢气）等多种气氛条件，满足不同材料的CVD需求。

可选配精确流量控制：通过质量流量控制器（MFC）精确调节反应气体的流量，确保化学反应的最佳条件。

5. 智能化控制系统

触摸屏界面：直观易用的操作界面，便于用户输入参数、启动测试和查看结果。

数据记录与分析：实时监控系统，方便用户追踪生产过程，并自动记录关键参数，便于后续数据分析和质量控制。

远程监控与管理：支持远程连接，可通过互联网对设备进行监控和管理，提升工作效率。

6. 安全防护措施

过温保护装置：当检测到异常高温时，系统会自动报警并切断电源，防止设备损坏。

紧急停止按钮：确保操作人员的安全。

设备名称

1200℃旋转摆振CVD包覆加热炉

规格型号

NBD-RT1200-100T2DF2LN

供电电源

AC380V 50HZ

额定功率

4.5KW

温区数量

单温双控

控温精度

±1℃

加热元件

合金电阻丝

传感器类型

K型热电偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

长期工作温度

1100℃

升温速率

1℃/H-20℃/Min

炉膛温区尺寸

Φ150*440（220+220）mm

炉体倾斜角度

-5-20°

炉管规格

60*3*1000 中间100*3*355/380,内接3只20*3*340刮片

炉管旋转速度

1-10rpm

送料速度

1-25ml/min（粉状料）

最大送料粒径

＜φ0.1mm

进出料罐容积

2L

浮子流量计

0.1-0.8L/min

炉体尺寸

长1763*高1683*深795mm

炉体重量

约272KG

控制系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

炉膛细节

弱压力测量与监控

（可选配）

加热元件

压力测量与监控

供气系统

服务与支持