RTP快速蒸发烧结炉
发布时间: 2025-07-23 01:06:36 浏览次数:108
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| 主要特点与优势 1. 快速加热与冷却 高效加热:采用卤素灯或电阻加热器等高功率加热元件,可在几秒到几分钟内将样品迅速加热至所需温度(最高可达1200℃或更高),显著缩短了传统加热炉所需的升温时间。 快速冷却:配备高效的冷却系统(如水冷夹套或强制空气冷却),能够迅速降低样品温度,提高生产效率并减少热处理对材料结构的影响。 2. 精确的温度控制 PID智能控温系统:提供高精度的温度控制,通常温度波动范围在±1℃以内,支持多段程序升温曲线设置,适应复杂的工艺需求。 实时监控:使用热电偶或红外测温仪实时监测样品表面温度,确保温度分布均匀一致。 3. 气氛控制 多种气氛选择:支持真空、惰性气体(如氮气、氩气)、还原性气体(如氢气)等多种气氛条件,满足不同材料的快速热处理需求。 可选配精确流量控制系统:通过质量流量控制器(MFC)精确调节反应气体的流量,确保化学反应的最佳条件。 4. 自动化程度高 自动进出料系统(可选):实现物料的连续进料和出料,减少人工干预,提高生产效率。 触摸屏界面:直观易用的操作界面,便于用户输入参数、启动测试和查看结果。 数据记录与分析:实时监控系统,方便用户追踪生产过程,并自动记录关键参数,便于后续数据分析和质量控制。 5. 安全防护措施 过温保护装置:当检测到异常高温时,系统会自动报警并切断电源,防止设备损坏。 紧急停止按钮:确保操作人员的安全。 气体泄漏报警系统:保障实验环境的安全(如果需要使用特殊气氛)。 | ||
设备名称 | 快速蒸发烧结炉 | ||
规格型号 | HR1200-110/20TP2W | ||
供电电源 | AC380V 50HZ | ||
额定功率 | 17KW | ||
控温精度 | ±1℃ | ||
炉膛加热元件 | 6支短波红外线加热孪管23*11*300mm | ||
保温管道加热元件 | 陶瓷外丝加热管30*50*350mm | ||
传感器类型 | 炉膛控温:K型热电偶φ1*350mm 腔内热电偶:K型铠装热电偶φ8*500mm | ||
炉管规格 | 石英管φ110*900mm 内管石英管φ80*3*445mm | ||
升华区额定温度 | 1100℃(常用温度200-600℃) | ||
预热温区温度 | 600℃(常用温度200-550℃) | ||
推荐升温速率 | ≤10℃/min | ||
炉膛温区尺寸 | Φ170*200mm | ||
炉体尺寸 | 长1440*高516*深505mm | ||
炉体重量 | 约87KG | ||
控制系统 | ![]()
| 1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置; 2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结; 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录; 4、具有实现远程操控,实时观测设备状态; 5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。 | |
密封系统 | ![]() ![]() ![]() | ||
加热元件 | ![]() | 短波红外线加热孪管 | |
弱腐蚀性气体预热器 (可选配) | ![]() | 通体采用316L材料,对于各种气体以及腐蚀性气体的预加热处理,满足特殊的工艺需求,最高温度达600℃。 | |
设备使用注意事项 | 1.设备炉膛温度≥300℃时,移动炉膛后,禁止触碰原炉膛所在位置的石英管,避免受到伤害; 2.设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害; 3.设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏; 4.真空下使用时,设备使用温度不得超过800℃。 5.供气钢瓶内部气压较高,向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在选购试验用小压力减压阀, 减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。 6.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态; 7.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃ 8.加热的实验时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若绝对压力表读数大于0.15MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂等)。 | ||
服务与支持 | 一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件)。 |
应用领域:
半导体工业:用于晶圆退火、氧化物生长、离子注入后的激活等快速热处理步骤。
新能源:为锂离子电池电极材料、燃料电池催化剂载体等提供高效能涂层或烧结处理。
光学器件:制备抗反射涂层、增透膜等,提升光学元件的性能。
陶瓷与金属粉末冶金:用于快速烧结陶瓷或金属粉末,形成致密且高性能的材料。
科研实验:在实验室中进行新材料开发和性能测试,探索新型热处理技术。
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- {{item2.cat}}
- {{ isExpanded[index2] ? '收起' : '更多' }}
电话:400-000-3746