一、 高度集成与多功能

清洗-镀膜一体化：在同一真空腔室内完成等离子体清洗和PECVD镀膜，避免了基底在转移过程中被空气污染，确保了界面的洁净和薄膜的优异附着力。

多工艺兼容：通过切换气体和工艺参数，可实现多种功能：

清洗：O₂等离子体去有机物，Ar等离子体物理溅射去无机物/活化表面。

镀膜：使用SiH₄ + NH₃/N₂O沉积氮化硅（Si₃N₄），使用SiH₄ + N₂O/O₂沉积二氧化硅（SiO₂）等。

二、 高精度过程控制

精确的气体控制：

配备多路高精度质量流量控制器（MFC），可精确、稳定地调节O₂、Ar、SiH₄、NH₃、N₂O等工艺气体的流量（通常精度达±1% FS）。

先进的等离子体控制：

采用射频（RF, 13.56 MHz）电源，射频功率可调范围宽，适应不同工艺需求（清洗需较高功率，成膜需优化功率以控制膜应力）。

精准的温度控制：

采用PID控温，温度控制精度可达15℃，确保成膜反应的均匀性和重复性。

三、 高效与自动化

程序化自动运行：

配备PLC或计算机控制系统，支持编写和存储多步工艺程序（Recipe）。

可自动完成“抽真空 → 清洗（进气、点火、计时）→ 排气 → 沉积（进气、升压、点火、加热、计时）→ 排气 → 冷却 → 破真空”等全过程，实现无人值守操作。

高重复性：自动化控制确保了不同批次、不同操作人员之间工艺结果的高度一致。

四、 安全性与可靠性

针对硅烷的特殊安全设计：

硅烷是剧毒、易燃、易爆气体。系统必须具备：

专用气路：使用经过认证的、防泄漏的管路和接头。

泄漏检测：配备硅烷气体探测器，实时监测环境泄漏。

五、 结构与维护

模块化设计：真空腔室、气体柜、电源、控制柜等常采用模块化设计，便于维护、升级和运输。

人机界面友好：配备触摸屏或计算机软件，操作界面直观，可实时监控工艺参数、报警信息和历史数据。

六、 性能特点

薄膜质量高：沉积的氮化硅/二氧化硅薄膜具有良好的均匀性、致密性、附着力和可控的应力（张应力/压应力）。

低温工艺：PECVD技术可在200-400℃的相对低温下沉积高质量薄膜，适用于不耐高温的基底。

产能灵活：可根据需求设计为单片、多片或在线式系统，适应研发、中试或小批量生产。

设备名称

硅烷等离子体清洗镀膜系统

设备型号

NBD-PECVD1200-100TID3ZYW-N

供电电源

380V 50HZ 三相五线制 频率：50Hz(PECVD:230V(单相) 尾气处理：380V(三相) )

额定功率

8KW（PECVD4.5KW）

加热元件

合金加热丝

炉膛控温精度

±1℃

传感器类型

K型热电偶φ2*420mm

Tmax

1200℃

额定温度：

1150℃

推荐升温速率

≤10℃/min

炉膛温区尺寸

φ150*295mm

炉管尺寸

石英管φ100*1200mm

电感线圈

内径110mm

射频功率

0—300W可调

质量流量计1

S500 50SCCM 1/4VCR接头 氮气标定

质量流量计2：

S500 100SCCM 1/4VCR接头 氮气标定

质量流量计3：

S500 300SCCM 1/4VCR接头 氮气标定

前级泵

无油泵WY-16 抽气速率4.4L/s

分子泵：

NBD-103A 抽气速率110L/s

工作极限真空度

7×10^-3Pa

炉体尺寸

长1660*高2020*深900mm

尾气处理装置尺寸

长2950*高2200*深820mm

控制系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

温度精度

+/- 1 ℃

加热元件

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

真空度：10Pa（机械泵）

净重

约280KG

设备使用注意事项

1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；

3、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。

4、供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。

5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；

6、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

7、加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，绝对压力表读数不要大于0.15MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

服务支持

一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件。）