设备核心特点

加热系统：

多温区独立控温：炉体沿轴向分为6–12个独立加热区，每区由独立的PID控制器精确调节。

- 高稳定性发热体：采用优质电阻丝或硅碳棒，老化慢，功率输出稳定。

测温与控制

高精度热电偶：直接监测各温区温度，精度±0.1℃。

- 先进的温度场算法：通过软件模型预测和补偿边缘效应、负载变化，动态优化各区功率分配。

气流与工艺腔室

- 优化的气流动力学设计：石英炉管内配备挡板、喷淋头或特殊结构，确保工艺气体（O₂, N₂, H₂等）均匀、层流地通过每一片晶圆。

- 大流量冲洗：快速置换气体，减少交叉污染，保证工艺重复性。

石英系统

- 高纯度合成石英：耐高温、低析出，避免金属污染。

- 精密舟/支架：确保晶圆间距一致，减少遮挡效应。

设备名称

大口径真空扩散炉

规格型号

NBD-T1200-400T5D4ZY-435

供电电源

AC380V 50HZ

额定功率

65KW

温区数量

单温五控

控温精度

±1℃

传感器类型

K型热电偶φ1*250mm

Tmax

1200℃

长期工作温度

1100℃

推荐升温速率

≤20℃/min

炉膛温区尺寸

Φ460*1625mm

炉管规格

石英管φ400*2400*5mm

质量流量控制器

S500 2000SCCM φ6.35双卡套 2米空头线 氟橡胶密封 氮气标定

S500 10SLM φ6.35双卡套 2米空头线 氟橡胶密封 氮气标定

恒压控制范围

100-90000Pa

进出气接口

进气口：φ6.35双卡套

出气口：φ12mm宝塔口

安全阀出气口：φ8mm宝塔口

抽真空口：KF40

真空泵

DRV60 KF40三相

炉体尺寸

长3080（右侧托架完全打开长度3750）*高1838*深880mm

加热腔体

绝热材料：晶体纤维等

绝缘子：高纯刚玉，间距依据温场调节

端口过渡环：氧化铝纤维真空成型。

温区：3段、4段、5段、6段

控制系统

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。

加热元件

采用优选加热丝：KANTHAL及HRE

真空密封系统

供气系统

温度精度

±1℃

净重

约800KG

设备使用注意事项

1、装取样片必须带石棉手套，使用石英器件小心打碎；

2、选择合适的石英舟，取出清洁好的石英托板和石英拉钩；

3、安装样片插入到石英舟的槽内，用石英拉钩将石英舟推入炉管到恒温区；

4、炉管内压力不得超过0.15MPa（绝对压力），以防止压力过大引起危险；

5、高真空下使用时），设备使用温度不得超过1000℃；

服务支持

一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件）。