技术参数：

1、真空腔体：Φ125（113）*126mm  ；

2、试样台尺寸：Φ40nn；

3、样品台可调高度：65mm；

4、金靶尺寸：Φ58*0.12mm；

5、真空检测：皮氏真空计；

6、真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空；

7、工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节 ；

8、溅射材质：铁、钴、铒；

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