PECVD等离子体化学气相沉积系统
发布时间： 2020-04-11 07:09:09 浏览次数：3722
设备简介：
产品具有固态等离子源、分开式反应气体进气系统，动态衬底温控，全面控制真空系统，采用集中现场控制总线技术的nobody控制软件，以及友好用户操作界面来操作。适用于室温至1200℃条件下进行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉积，同时可实现TEOS源沉积，SiC膜层沉积以及液态或气态源沉积其它材料，尤其适合于有机材料上高效保护层膜和特定温度下无损伤钝化膜的沉积。
| 1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染； 2. 上开启式结构，方便观察试样； 3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示； 4. 设备一体化程度高； 5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量； | |||||||||
产品型号 | NBD-PECVD1200-80TI | |||||||||
电气规格 | AC220V 4KW | |||||||||
可达温度 | 1200 ℃ | |||||||||
连续温度 | 1150 ℃ | |||||||||
可达加热速率 | ≤ 20 ℃/分钟 | |||||||||
射频电源 | 500W 13.56MHz | |||||||||
炉管尺寸 | Φ80*1200mm | |||||||||
| 沉积示意图 |
| 如图所示：此为该设备沉积过程中的示意图 | ||||||||
控制系统 |
| 1.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自主生成，实验数据无限次导出。 2.实验过程更加直观，操作更加便捷； 3.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | ||||||||
温度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加热元件 |
| Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
密封系统 |
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真空度：≤10Pa（机械泵） | ||||||||||
压力测量与监控 |
| 采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。 | ||||||||
供气系统 |
| 采用两路质子流量计精确控制气体流速，与设备集成为一体； | ||||||||
可选配 （CRB升级型尾气净化器） |  | 本公司研制的NBD-B型外延炉尾气净化器，在结构上综合采用了2个喷洗室和1个填料柱室，洗涤器所产生的负压由人工手动控制，补水系统由人工根据工艺情况调节。水溶性气体的清除率高达 99.99％。净化效率最高、维护最方便，运行成本最低。 | ||||||||
| PECVD+CRB升级型尾气净化器应用 |  | |||||||||
净重 | 360KG | |||||||||
设备使用注意事项 | 1.设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2.设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏； 3.真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。 4.供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。 5.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态； 6.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃； 7.加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。 | |||||||||
服务支持 | 1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。 | |||||||||
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