小型CVD系统
发布时间： 2020-04-16 22:29:46 浏览次数：3811
设备简介：
化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用非常广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域；
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| 1. 自动循环抽真空清洗送气； 2. 排气端两路自动点火器，一路工作一路保护，保证可燃气体充分燃烧以及设备稳定运行； 3. 管道自熄式防回火装置，严格控制可燃气体倒吸； 4. 多种工作模式可供选择，亦可沟通定制； | ||
产品型号 | NBD-2AQD | ||
| 控制系统 |
| NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； | |
接口尺寸 | 1/4”双卡套接头 | ||
管道压力 | -0.1-0.15MPa | ||
净重 | 20KG | ||
设备使用注意事项 | 1、 确保管道内压力＜0.15MPa； 2、 气柜连接好气瓶后要用肥皂水进行检漏测试； | ||
服务支持 | 一年保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件） | ||
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