主要特点：

1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；
2. 上开启式结构，方便观察试样；
3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；
4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果；
5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；

产品型号

NBD-PECVD1200-50T2-N

电气规格

AC220V 3KW   射频功率：300或500瓦 13.56Mhz

1200 ℃ （<1小时）

连续温度

1100 ℃ （连续）

可达加热速率

≤20 ℃/分钟

加热区长度

200mm+200mm（两个加热温区分别加热，分体式设计使温度梯度可以达到极限）

炉管尺寸

Φ50*1800mm

射频线圈

采用多节点镀银的水冷铜线圈，可匹配不同频率的射频电源 

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；
2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；
4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；
5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正

+/- 1 ℃

加热元件

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

真空度：≤10Pa（机械泵），达到启辉条件。

压力测量与监控

100KG

设备使用注意事项

1.设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2.设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大冲开密封法兰；

服务支持

一年有限保修，提供终身支持；