超声雾化CVD管式炉(mist-CVD雾化化学气相沉积Mist Chemical Vapor Deposition)
发布时间: 2020-10-21 22:20:23 浏览次数:4582
1.液体流量控制系统:中间体高精度传输、微小流量液体高精度传输、流量范围:0.04~36ml/min; 2.雾化装置:配有一个1.7MHz超声雾化仪,可将液体雾化成液体颗粒,导入到管式炉中; 3.加热系统(管式炉可定制):最高温度可以达到1200℃。 | ||
电气规格 | AC220V 1.2KW | |
T-max | 1200℃ | |
长期使用温度 | 300~1150℃ | |
升温速率 | 1℃/H-20℃/Min | |
恒温区长度 | 200mm | |
高精度蠕动泵 | 1、转速范围:0.1·100rpm正反转可逆; 2、速度分辨率:0.1rpm; 3、调速方式:薄膜按键; 4、显示方式:4位LED显示当前转速或当前流量; 5、加强PP材质,耐腐蚀; 6、流速:0.04-13ml/min; 7、设有全速键,实现快速排空、添加; 8、具有掉电记忆功能,及时保存运行参数。 | |
雾化器 | 1.AC220V ,1.7MHz超声雾化仪; 2.液体罐标配为聚四氟材质,耐腐蚀,并采用硅胶密封圈密封; 3.可通过控制气体流量计实现雾化流出速度; 4.可实现连续运行雾化。 5.流速:0.04-13ml/min。 | |
控制系统 | 1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦; 2.实验过程更加直观,操作更加便捷; 3.可另选配无线控制模块,实现远程操控; 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等。 | |
加热元件 | Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | |
流量控制 | 标准配置有一个浮子流量计,流量计量程为 | |
净重 | 30kg | |
设备使用注意事项 | 1.设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害; 2.设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大冲开密封法兰; 3.高真空下使用时(10-3Pa),设备使用温度不得超过800℃。 | |
服务与支持 | 一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件。) |
销售热线: 0371-6320 2801
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售后服务: 0371-6320 2805
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地址:郑州·新郑·新华街道竹园8号
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电话:400-000-3746