1200℃CVD一体机
发布时间： 2021-04-20 21:06:49 浏览次数：2398
设备简介：
NBD-CVD1200系列一体机采用国际先进制造工艺，从美学艺术角度出发根据人体安全的角度设计，控制系统采用先进的PLC+触摸屏操控系统，操作更加简单方便。温度控制采用先进的PID模糊控制，使控温精度保持在±1℃。适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。
| 1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单独设置气体流量。 3.精确PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果极佳。 5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。 | ||||||||||||
产品型号 | NBD-CVDO1200 | ||||||||||||
炉管直径 | Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自选) | ||||||||||||
工作温度 | ≤1100℃ | ||||||||||||
温区选择 | 单温区 | 双温区 | 三温区 | ||||||||||
加热区尺寸 | 440mm | 200mm + 200mm | 200mm + 400mm + 200mm | ||||||||||
电器规格 | AC220V 4KW | AC220V 5KW | AC220V 8KW | ||||||||||
升温速率 | 建议 10℃/min | ||||||||||||
控制系统 |
1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。 | ||||||||||||
气体系统（可选购） | 流量计类型 | 浮子流量计 | 质量流量计 | ||||||||||
管道示意图 |
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进气接口数量 | 2、3、4（多路可选） | ||||||||||||
流量范围 | 20-250/20-800ml/min(多量程可选) | 50/100/200sccm(多量程可选) | |||||||||||
工作压差范围 | 0-0.15MPa | ||||||||||||
低真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C | |||||||||
抽气速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | ||||||||||
进排气口尺寸 | Φ8mm宝塔接头 | Φ8mm宝塔接头 | KF16/25 | ||||||||||
极限压力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | ||||||||||
工作温度 | 5-40℃ | ||||||||||||
电气规格 | AC220V | ||||||||||||
高真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) | |||||||||
抽气速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | ||||||||||
真空测量计 | 复合真空计 | ||||||||||||
极限压力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | ||||||||||
工作温度 | 5-40℃ | ||||||||||||
电气规格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | ||||||||||
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 | |||||||||||||
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售后服务： 0371-6320 2805
蔡永国： 181-0371-5723
高经理: 188-3829-0747
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Email： nbd@nbdkj.com
地址：郑州·新郑·新华街道竹园8号
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电话：400-000-3746