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1200℃CVD一体机

发布时间:2021-04-20  浏览次数:732

 

设备简介:

NBD-CVD1200系列一体机采用国际先进制造工艺,从美学艺术角度出发根据人体安全的角度设计控制系统采用先进的PLC+触摸屏操控系统,操作更加简单方便。温度控制采用先进的PID模糊控制,使控温精度保持在±1℃。适用于高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火等试验。

          

 

 

 

 

 

 


 

1.炉体与控制系统集成一体化,使试验方便快捷直观。

2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路,可以单独设置气体流量。

3.精确PID程序多段控制,实现不同工艺多段温度时间监控。

4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料,保温效果极佳。

5.配备机械泵或分子真空泵,可以实现不同的真空条件。

品型号

NBD-CVDO1200

炉管直径

Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自选)

工作温度

≤1100

温区选择

单温区

双温区

三温区

加热区尺寸

440mm

200mm + 200mm

200mm + 400mm + 200mm

电器规格

AC220V 4KW

AC220V 5KW

AC220V 8KW

升温速率

建议 10/min

控制系统

 

气体系统(可选购)

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

 

 

进气接口数量

2、3、4(多路可选)

流量范围

20-250/20-800ml/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统(可选购)

真空泵型号

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40

电气规格

AC220V

高真空系统(可选购)

真空泵型号

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40

电气规格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746



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