收藏本站    |   联系我们    |  中文 / EN
    客户到访 当前位置:网站首页 > 客户到访

CVD系统T1700-XTIG2Z

发布时间:2017-11-16  浏览次数:4434


设备简介:

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用非常广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统,适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域;




    

 

 

 

 

 



配置详情

NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;


产品型号

CVDT1700-50TIG2Z

CVD T1700-60TIG2Z

CVD T1700-80TIG2Z

炉管尺寸

Φ50*1000mm

Φ60*1000mm

Φ80*1000mm

工作温度

≤1650℃

加热区尺寸

310mm

升温速率

≤20℃/min

电气规格

AC 220V  4.5KW

气体系统(可选购)

流量计类型

浮子流量计

质量流量计

管道示意图

 

 

进气接口数量

2、3、4(多路可选)

流量范围

20-250/20-800ml/min(多量程可选)

50/100/200sccm(多量程可选)

工作压差范围

0-0.15MPa

低真空系统(可选购)

真空泵型号

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽气速率

1L/s

3L/s

4L/s

进排气口尺寸

Φ8mm宝塔接头

Φ8mm宝塔接头

KF16/25

极限压力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC220V

高真空系统(可选购)

真空泵型号

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽气速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空测量计

复合真空计

极限压力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作温度

5-40℃

电气规格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746


免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。


下一篇:CVDO1200-XT33G2F