发布时间：2018-11-27 浏览次数：3831
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设备简介： 化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用非常广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。 该CVD系统主要由采用红外加热的快速热处理炉（RTP）、气体流量控制柜及真空泵组成，升温速率可达300℃/秒。移动式加热炉膛，可使热处理后的样品直接移动至室温下。系统内置热疲劳测试功能，可根据实验工艺设置热疲劳测试参数，系统将自动运行。
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配置详情
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NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； |
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产品型号 |
NBD-HR1200-110TI | ||||||||
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工作温度 |
≤1100℃ |
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加热区尺寸 |
200mm |
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升温速率 |
≤100℃/s |
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电气规格 |
AC 380V 15KW |
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气体系统（可选购） |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4（多路可选） |
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流量范围 |
20-250/20-800ml/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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高真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 |
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