项目

设备技术指标选择

设备型号

加热系统

晶体生长环境选择

氧化气氛/保护气氛/真空状态

长晶温区选择

单温区200mm /300mm/400mm

双温100+100/200+200mm /300+300mm

三温：200+200+200mm

反应腔尺寸选选择

Φ50/Φ60/Φ80/Φ100（更多选择联系客服）

主控最高工作温度

1150℃/1650℃

控温精度

300~1150±0.5℃

主控炉膛材料

高纯多晶纤维复合耐火保温层

主控炉膛模式

环形加热整体密闭

密封方式

水冷不锈钢密封法兰

提拉系统

长晶模式选择

坩埚下降法 /坩埚平移法

物料装载模式

上吊装下推进模式/下装载模式

晶体运动方式选择

坩埚只移动/ 坩埚移动并旋转

结构

双层滑轨结构，C7大力距滚珠丝杠，SPY铝托硬光轴直线导轨

长晶进给系统

伺服进给高精度运行平稳，大扭矩谐波减速进给速度30μm/h~30000μm/h可调，物料下推进运动模式，无旋转

装料密封方式

电动密封法兰

装料密封电机

57CM23闭环步进电机，平稳高速

供气系统

流量计选择

1/2/3路质子子流量计100sccm  200sccm  ,500sccm

气路管芯

专用不锈钢气体管道（1/4"）

调节阀类型

手动调节阀

管道常态

常闭

测量精度

±1.0%F.S

线性度

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

压力范围

-0.1-0.15 MPa

响应时间

2S

工作环境温度

(15～50℃)

精度保证温度

(15～35℃)

真空系统

真空类型选择

NBD-4C真空泵/ NBD-103（A） 分子泵系统

真空计类型

数字真空计/模拟真空计

系统真空

≤5pa  /2.8*10-3pa

操控系统

操控模式

1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；
2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；
3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；
4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；
5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正

长晶工艺设置

可预存15组工艺曲线，工艺曲线包括温度，气体流量，晶体进给速度（长晶速率），任意调用；长晶结束，报警提示，并生成实验报告导出，（）包含但不限于温度，气体流量，进给速率等）

温度校正

主控控温温度和试样温度的差值，系统全程进行非线性修正（询问客户长晶温度点，可做特别效验）

实现功能

可适用于布里奇曼法在真空或气氛或空气状态生长的各类晶体（坩埚下降法）

系统保护

超温报警，过流保护，断偶提示

随机产品配置

反应腔1根 ，镍铬铝吊丝5米 ，说明书1份;随机工具等。

服务项目

运输及保险费，包装费,安装及技术服务费； 提供12个月质保，触控系统24个月，终身保修