中南大学旋转PECVD

发表时间：2020-11-21 阅读:4715次

中南大学程老师为了处理碳酸铈材料，在我公司定制非标准旋转PECVD，设备组装完毕后，进行空载试机，为老师及学生讲解设备功能及使用方法，测试各项功能均正常后进行第一次实验。

装载大约25克碳酸铈，由于原料含有较大的水分，开始抽真空明显感觉抽真空速率及其缓慢，真空泵运行将近一个小时，才能抽至100pa左右，在未通氧气的情况下，一旦射频开启，真空度会迅速升高，且炉管内部辉光为暗淡的紫色，且启辉不易稳定，需要较长的时间，通入氧气后会在炉管右端首先反应比较激烈，会出现爆闪的红光，随着反应过程的推进，辉光会逐渐稳定且向炉管左侧蔓延，直至充满整个炉管，且辉光颜色会逐渐由暗紫色变为淡紫色最终转为淡粉色，此后颜色就不再发生变化，真空度也会维持在一个很低的水平，一般在20pa左右，反应完成后物料颜色由之前的纯白色变为米黄色。