AIN（氮化铝）单晶衬底

晶体结构:

六方晶系

晶格常数:

a=3.112Å;C=4.982Å

密度:

3.23g/cm3

热导率:

285w/mk

可用区域:

>80%

EPD :

<1E5 cm-2

吸收系数:

<80 cm-1

常规晶向:

c平面(0001

常规晶向:

士1°

晶向公差:

10x10x0.45mm±50μm、5x5x0.45mm±50μm

常规尺寸:

双抛

抛光情况:

A1面:CP抽光(RMS<0.8nm)

抛光面粗糙度:

N面:光学抛光(RMS<3nm)