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高功率PECVD系统（旋转摆振）

发布时间： 2020-09-03 浏览次数：6020

设备简介：旋转摆振PECVD系统适用于粉体材料的表面薄膜沉积。系统由高功率射频电源（500W，13.56MHz）、气体质量流量控制系统、真空系统、旋转摆振系统组成，利用等离子体特性来控制或影响气相反应和材料表面的化学反应过程，并在适当的温度下沉积薄膜。PECVD淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性，正由于这些优点使其在超大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。

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应用案例

	主要特点： 1、射频电源最大输出功率：500W（连续可调），最大反射功率 70W； 2、出色的电磁波屏蔽方案，高效、安全！ 3、异形高纯石英炉管，大容量反应空间； 4、独有的旋转（60档精调设计）摆振结构，保证物料与等离子体的充分接触； 5、三路高精度质量流量计（可依要求定制），集成混气系统； 6、独有进出料设计，保证设备在结构复杂状态下的便捷进出料； 7、射频系统、真空系统、旋转摆振系统全面集成于一体，7英寸全触屏操作，操作便捷、直观； 8、可保存六组工艺参数，随时调取； 9、实验数据可自动截图，并支持USB接口导出。
型号	NBD-PECVD-120ITD3Z
电气规格	AC220V/1.5KW
设备尺寸	W1300mm×H1250mm×D760mm；
反应腔室	Φ120*L300mm（可定制，管内焊接三组搅拌挡板），非射频区管径：φ60mm；
翻转速度	0.1～6转/min（无极调速）；
翻转倾角	-3°～+3° 最大倾倒角度30°
反应腔压力	5~80pa
法兰结构	航空铝快开模式；
电动推杆功率	50W
预约烧结		优化设备利用率、保障烧结工艺稳定性、节省等待时间，实现高效有序的样品制备。
远程控制		可通过电脑、手机等终端，随时随地登录控制系统查看加热炉运行状态（温度、压力、升温速率等），并根据实验需求远程调整参数、启动 / 暂停程序。夜间或节假日无需往返实验室，即可应对实验过程中的参数微调需求；跨地域出差时也能实时监控关键实验进程，大幅减少无效通勤时间，让科研人员更高效地分配工作精力。
实验数据存储		保障数据安全完整、规范化管理与高效检索。
可预设多组工艺程序		可预设多组实验专属温度程序、保障实验重复性与操作便捷性，支持工艺优化与数据追溯，适配团队协作与技术传承，大幅提升实验效率与设计灵活性。
非线性温度补偿		通过算法非线性修正控温点与样品由于在温场中位置不同而产生的温度偏差，提升控制温度与样品温度的一致性、简化操作，提升实验数据准确。
RF 电源	输出功率10～500W 任意连续可调，射频频率: 13.56MHz ±0.005% ，全自动匹配；
真空测试	数字真空计获取装置；
真空获取	NBD-4C机械真空泵(220V/50Hz)，功率：0.4KW，抽速：4m³/h；
供气系统	质量流量控制器（量程及标定可定制）精度：±1%F.S；响应时间：1-4秒；
设备细节
部分界面
控制系统		1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
可选配（CRB升级型尾气净化器）		本公司研制的NBD-B型外延炉尾气净化器，在结构上综合采用了2个喷洗室和1个填料柱室，洗涤器所产生的负压由人工手动控制，补水系统由人工根据工艺情况调节。水溶性气体的清除率高达 99.99％。净化效率最高、维护最方便，运行成本最低。
PECVD+CRB升级型尾气净化器应用
净重	约320KG
设备使用注意事项	1. 射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配； 2. 若采用手动匹配，将功率设到60W左右，手动调谐匹配合适时，再增加功率 3. 工作时，需改变腔体的气流量，先要要把功率设置为零，不能直接按“OFF”按键关闭射频输出。
服务支持	一年有限保修，提供终身支持；