高温PECVD系统
发布时间: 2023-08-24 08:11:42 浏览次数:2259
主要特点: 1、高温烧结。 2、控制稳定可靠,操作方便,安全防护措施完善。 3、采用先进的PID自学习模糊控制,控温精度高,保持在±1℃。 4、炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料,保温效果更好,节能降耗。 5、具有物联网功能(WIFI),可通过手机、电脑远程对设备进行监控,操作。 6、数据存储功能,可保存烧结的重要参数,时长达30天之久(每天开机8小时)。 7、配方功能,可预存配方20条以上。 8、联网功能,通过RJ45接口,采用TCP/IP协议,可以让系统与上位机相连(上位机需安装相应软件)。 | ||||
型号 | NBD-PECVD1500-80TID3ZY | |||
供电电源 | 单相220V 50HZ | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
触摸屏尺寸 | 7" | |||
射频频率 | 13.56MHz | |||
射频功率输出范围 | 0-500W | |||
沉积加热额定功率 | 3KW | |||
传感器类型 | S 型φ8*180mm | |||
沉积最高温度 | 1500℃ | |||
沉积额定温度 | 1450℃ | |||
推荐升温速率 | ≤5℃/min | |||
炉管材质及规格 | 刚玉Φ80*1200mm 外径*长度(厚度) | |||
沉积管径 | Φ80mm*1200mm | |||
炉膛尺寸 | 单个温区长175*高160*深140mm | |||
PECVD外形尺寸 | 长1500×高1350×深830mm | |||
气氛条件 | 混合气、真空等 | |||
滑动方式 | 电机驱动同步带 | |||
电机转速 | 3-4转每分钟 | |||
一转行程 | 114mm | |||
推拉最大行程 | 340mm 炉膛中心到线圈中心的距离 | |||
机械泵抽气速率 | 5m³/h | |||
炉腔极限真空度 | 3~5Pa | |||
重量 | 约240KG | |||
设备细节 | ||||
流程控制画面 | ||||
控制系统 | 1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置; 2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结; 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录; 4、具有实现远程操控,实时观测设备状态; 5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。 | |||
重量 | 约240KG | |||
设备使用注意事项 | 1. 射频匹配器一般处于自动匹配状态,一般功率需达到50W以上才能匹配; | |||
服务支持 | 一年有限保修,提供终身支持; |
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