发布时间:2024-03-25 浏览次数:81
金刚石是具有较宽带隙的半导体,除部分近红外,金刚石晶体具有从X射线到微波整个波段高的透过率,兼备高硬度高导热率、高化学稳走性和低膨胀系数,是一种优异的光学材料和电子器件。
电子级单晶金刚石参数表
电子性能
数据
折射率(590nm)
2.4
电子迁移率(cm2/v.s)
4500
空六迁移率(m2N s)
3800
含量(EPR测得)
<5ppb
硼含量
<1ppb
电子性能
数据
电阻率(2.cm)
>100
介电常数
5.5
介电损耗
<2x104
热学性能
数据
热导率(300KWm:K)
1000~2200
栌膨胀系数(x10-rC)
1(室温)
机械性能
数据
断裂强度
2.5~3GPa
断裂韧性(Pam’)
1~8
杨氏模量
1050GPa
硬度
70~120 GPa
摩擦系数
0.1
检 测
品名规格
实验室培育金刚石
尺寸规格
10mm*10mm*0.4m
备注
工艺方法
MPCVD
外观标准
清晰无杂质
判定OK/NG
序号
项目
检测工具/结果
1
长*宽
卡尺
OK
2
横向公差
+0.2/-0mm
3
厚度尺寸
卡尺
>0.3mm
OK
4
厚度尺寸
+0.01/-0.02mm
5
表面切痕
目测
无
OK
6
NV值检测
拉曼光谱仪
2, 2
OK
7
多晶检测
60倍被光镜
无
OK
8
透光性
强光手电
能穿透
OK
9
重量
电子秤
0.10g
OK
10
掺杂量
N、B
无
N/A
11
晶体学
通常100%单扇区(100)
OK
12
横向尺寸测量
向较小的一侧
OK
13
边缘、边缘
激光切割,边缘
OK
14
面朝向
(100)大面朝向
OK
15
边缘激光切0
3°
OK
16
第12面粗抛光糙度,Ra
抛光,Ra<30nm
OK
晶体材料咨询电话:199-5653-2471王经理