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离子溅射仪

发布时间:2020-11-20  浏览次数:5874


设备简介:

NBD-LJ13离子溅射仪为扫描电镜制作样品而设计,结构简单、操作使用直观方便等特点。不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射,可作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。

 

 

 



配置详情(产品型号:NBD-LJ13)

 

主要特点

1.采用4C静音真空泵,各方面降噪,提升实验感受;
2.标配样品室真空表和溅射电流表,实时显示和监控仪器状态;
3.边缘橡胶密封圈,长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;
4.配置溅射电流控制器和微型真空气阀。结合自动控制电路,轻松控制真空室压强、电离电流,并可任意选择所需电离气体,以获得很好的镀膜效果;
5.标配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶,溅射范围更大。         

控制面板:

真空表:真空度的计量单位mmHg或Pa相对应的刻在表盘上,可方便的读出工作室内的真空度;

电流表:显示溅射电流值单位(mA);

微调阀(充气阀):用于向工作室内进行充气;
试验按钮:配合针阀设置,以便获得满意的溅射电流值(小于10mA);
溅射按钮:当“实验”按钮电流小于10mA时,可以按“溅射”按钮,对样品进行离子溅射;
时间设定开关:控制离子溅射时间,定时开关10~110S;
电源开关:控制仪器机箱电源及机械泵的通断。

 

高纯石英真空腔体Φ130(内118)*130mm

样品台尺寸:Φ42mm                             

样品台可调高度:75mm    

电气规格

AC220V   120W

腔体尺寸

Φ130(内118)*130mm

样品台尺寸

高纯Φ42mm

样品台可调高度

样品台可调高度:75mm

样品温度

<35~50℃

适用靶材

贵金属AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pb 常规金属Cu、W、Ag 、Cr 等

溅射速度

一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300Å,采用经验法测定厚度,可由下面的公式得到
d = KIVT
其中: d:是镀膜厚度(单位Å)
K:是常数,取决于溅射金属和所充气体(采用金靶和氩气时K为0.17,金靶和空气K为0.07),此时靶与样品之间的距离
I: 是等离子流(单位mA)
V:是所施电压(单位kv)
T“”是时间(单位s)。
例如采用金靶和氩气,l为8mA,T为100秒,V为1KV
则, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136Å
即每秒1.36Å
溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度,因此保护工作室的清洁十分重要。
其它金属靶的溅射速度,例如铂靶大约是金靶一半的速度,金一铂靶则具有与金靶非常接近的溅射速度。

设备使用注意事项

1.靶材的更换
先拔下溅射盖板上高压和地线插头,拿下溅射盖板,松开三只顶丝,拿下保护板,然后拧下压环就可以更换新靶。
2.真空工作室清洗
腔体工作室用无水乙醇、丙酮清洗,以保证系统能正常工作。
3、针阀使用
针阀关闭后再反向拧两圈,以防止针阀长时间不用出现阀针回弹不灵活的现象。如遇到打开针阀时不向工作室放气,请将针阀钮拧到底后再重新打开即可。

标配

1.NBD-4C真空泵; 

2 金靶1只:Φ58*0.12 

3.说明书一份.(可选配分子泵)

服务支持

一年保修,提供终身服务;

净重

25KG

 


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