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射频等离子体增强滑轨式管式炉
发布时间： 2025-12-27 浏览次数：0
射频等离子体增强滑轨式管式炉系统是一套集精密机械定位、射频等离子体激发与动态气氛控制于一体的先进材料制备平台。该系统通过手动滑轨移动式高温炉体、射频电源与集成高精度气柜的协同设计，实现了样品快速装卸、局部加热、等离子体辅助反应及工艺气氛的精准调控，特别适用于需要快速热循环、气氛敏感或表面活化的先进材料合成与处理工艺。
 | 主要技术特点与优势： 1. 手动滑轨移动式高温管式炉 · 炉体安装在精密直线滑轨上，可实现平滑手动推移，使反应腔体（刚玉或石英管）快速脱离或覆盖样品区域，便于快速装样、取样及反应区定位。 · 最高工作温度可达1200℃，温控精度达±0.5%，支持多段程序升降温。 · 炉体结构紧凑，隔热设计高效，确保滑轨移动时稳定可靠，并能适应卧式安装方式。 2. 射频等离子体激发系统 · 配备13.56 MHz工业标准射频电源，具备自动阻抗匹配功能，确保等离子体激发高效稳定。 3. 质量流量控制气柜 · 集成多通道质量流量控制器（MFC），气体控制精度达±1% FS，支持惰性、还原性、腐蚀性等多路气体动态混合与切换。 三种可切换工艺模式： 1. 纯热工模式：仅使用管式炉进行常规烧结、退火或化学气相沉积（CVD）。 2. 等离子体辅助模式：开启射频激发，实现等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、材料表面活化或低温合成。 3. 快速热循环模式：通过滑轨移动炉体，实现样品快速进入/离开高温区，适用于淬火、分段反应等动态工艺。 技术优势 · 操作灵活高效：滑轨设计极大简化样品装卸流程，避免整体炉体移动带来的热场扰动，提升实验重复性。 · 能场协同精准：热场与射频等离子体场可独立或叠加使用，显著拓宽工艺窗口，实现材料微观结构精确调控。 | |||
设备名称 | 滑轨炉 | |||
规格型号 | NBD-CMT1200-TSL-50 | |||
供电电源 | 220V 50HZ | |||
额定功率 | 2.5KW | |||
加热元件 | 合金电阻丝 | |||
温区数量 | 单温单控 | |||
温区尺寸 | Φ150*200mm | |||
控温精度 | ±1℃ | |||
传感器类型 | N 型热电偶φ1*250mm | |||
Tmax | 1200℃ | |||
额定温度 | 1100℃ | |||
推荐升温速率 | ≤10℃/min | |||
炉管规格 | 石英管φ50*1500mm | |||
进气口 | Φ6.35mm双卡套 | |||
出气口 | Φ8.4mm宝塔 | |||
抽真空口 | KF16 | |||
真空泵 | DRV5 KF16接口 | |||
炉体尺寸 | 长1120*高520*深520mm | |||
重量 | 约40KG | |||
| 不同气体下反应 |    | |||
 | 等离子射频模块PE-500W | |||
设备特点 | 此设备功率可以预设，实现一键启动,自动匹配，而且匹配后功率稳定。 | |||
基本参数 | 输入电压:AC220V，50/60HZ 最大反射功率：200W 匹配：自动匹配，空气电容 | |||
尺寸 | 长760*高455*深575mm | |||
保护功能 | DC过流保护，功放过温保护，反射功率保护 | |||
重量 | 约35KG | |||
保质期 | 一年质保期，终身维护 | |||
VERG- | 300 | 500 | 600 | |
信号频率 | 13.56MHz±0.005% | |||
功率输出范围:W | 1-300 | 1-500 | 1-600 | |
最大反射功率:W | 120 | 200 | 200 | |
射频输出接口:50 Ω | N-type,female | |||
功率稳定度 | ≤2W | |||
谐波分量: ≤dBc | -50 | |||
供电电压:50/60Hz | 单相交流（187V-253V） | |||
整机效率:≥% | 70 70 | |||
冷却方式 | 强制风冷 | |||
整机重量:kg | 16±0.5 | |||
整机尺寸:H*W*D(mm) | 88x483x450 | |||
控制系统 |  | 1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。 | ||
加热元件 |
| 合金电阻丝 | ||
温度精度 | ±1℃ | |||
设备使用注意事项 | 1.射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配； 2.若采用手动匹配，将功率设到60W左右，手动调谐匹配合适时，再增加功率 | |||
| 发货现场 |  | |||
服务支持 | 一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件。） | |||
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