发布时间： 2023-06-14 浏览次数：2025
设备简介：该设备主要应用于过渡金属二硫化物材料制备。设备分两个温区，高温区用于硫粉的蒸发，低温区用于MoO3的蒸发及硫化物的沉积。适当调整衬底和蒸发源的距离、蒸发温区的温度及进气流量，可得到大面积的单层二硫化物材料。本设备仍可作为满足实验参数的常规CVD设备使用。
| 设备特点： 1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 | ||||||||
炉体尺寸 | 1100mm×1250mm×750mm(宽×高×深） | ||||||||
刚玉管尺寸 | Φ80*1000mm | ||||||||
主控升温速率 | 建议≤10℃/min | ||||||||
使用温度 | 1200℃以下可长期使用 | ||||||||
控温精度 | ±1℃ | ||||||||
| 最高温度 | 1100℃ | ||||||||
加热元件 | 高温合金丝 | ||||||||
加热功率 | 5KW | ||||||||
主控炉膛材料 | 高纯多晶纤维复合耐火保温层 | ||||||||
主控炉膛模式 | 开启式 | ||||||||
密封方式 | 不锈钢密封法兰 | ||||||||
测温元件 | K型热电偶 | ||||||||
加热温区长度 | 双温 210mm*2 | ||||||||
操控模式 | NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7英寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式； | ||||||||
温度曲线设置 | 主加热可预存15条温度曲线，每条曲线可设置30段"时间—温度曲线"，实时监控，动态真实显示“时间-温度曲线” | ||||||||
温度校正 | 主控控温温度和试样温度的差值，系统全程进行非线性修正（询问客户常用温度点，做特别效验） | ||||||||
真空泵类型 | 直联旋片式真空泵（双级旋片） | ||||||||
抽气速率 | 4(L/s) | ||||||||
进排气连接口 | KF16/25（mm） | ||||||||
用油量 | 0.6～1L | ||||||||
电机转速 | 1440（rpm） | ||||||||
工作环境温度 | 5～40℃ | ||||||||
噪音（dB） | ≤56 | ||||||||
真空计类型 | 数显真空计 | ||||||||
系统真空 | 3~5pa （另选配分子泵可达6.3*10-3pa） | ||||||||
流量计类型 | 2路质量流量控制器 300SCCM,500SCCM, 可根据客户需求选择流量范围 | ||||||||
气路管芯 | 专用不锈钢气体管道（1/4"） | ||||||||
调节阀类型 | 手动调节阀 | ||||||||
管道常态 | 常闭 | ||||||||
测量精度 | ±1.0%F.S | ||||||||
精度保证温度 | 15～35℃ | ||||||||
系统保护 | 超温报警，过流保护，断偶提示 | ||||||||
电气规格 | 220V 50Hz 5KW | ||||||||
随机产品配置 | 石英炉管1根 ，炉塞1套 ，炉钩一只，说明书1份;随机工具等。 | ||||||||
服务项目 | 运输及保险费，包装费,安装及技术服务费； 提供12个月质保，触控系统24个月，终身保修。 | ||||||||
| 控制系统 |
| 1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； | |||||||
弱腐蚀性气体预热器 （可选配） |  | 通体采用316L材料，对于各种气体以及腐蚀性气体的预加热处理，满足特殊的工艺需求，最高温度达600℃。 | |||||||
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746 | |||||||||
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