中硅(山东)硅铝新材料
中国科学院赣江创新研究院
中南大学旋转PECVD
武汉工程大学
山东先进玻璃实验室
曲阜师范大学多温区管式炉
均温全桥结晶炉
天津大学高真空多温区CVD
亚洲大学
南大超导中心
中科院物理所
河大纳米中心