立式HVPE单晶生长系统

设备简介：

 立式淬火管式炉：优质保温材料由真空成形纤维板构成，具有低储热和低导热性能，从而能降低设备的能耗和缩短加热时间。通过配置不同的充气套件可在不易燃或易燃保护或反应气体条件下或在真空中运行。电动旋转脱扣结构，淬火更安全，结构更稳定。

   设备特点：

    1、MoSi2加热元件悬吊安装，易于更换；
  2、真空陶瓷纤维板构成保温材料；
  3、用于垂直式运行的RHTV 型管式炉，带支架；
  4、B型热电偶；
  5、调功单元配备低压变压器和可控硅调节器；
  6、温度选择限制器，用于对炉子和货品进行过温保护；
  7、带控制器的开关设备与窑炉分开，安装于单独的立式柜中；
  8、电动旋转脱扣结构，淬火更安全，结构更稳定。

设备名称

规格型号

NBD-LT1700-60TI-200

Tmax

供电电源

单相220V 50HZ

额定功率

5KW

Φ220*210mm

 进出气系统

炉管材质

±1℃

B型热电偶，Φ8*150mm

炉管材质

淬火罐内尺寸

1℃/H-20℃/Min

进出气系统

炉体尺寸

长1075*高1780*深610mm

控制系统

 1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置；

 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结；

 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录；

 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态；

 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正

温度精度

±1℃

加热元件

高纯硅钼棒

压力测量与监控

采用机械压力表，表外壳为气密型结构，能有效保护内部机件免受环境影响和杂物侵入，同时具有较强的耐腐蚀和耐高温的能力。

供气系统

采用浮子流量计控制气体流速，与设备一体化，且出厂前已进行漏气测试工作。

达到设定温度后，即可根据需要进行脱扣，通过观察口可以十分清楚的看到整个脱扣过程；

净重

260kg

设备使用注意事项

   1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

   2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（Absolute压力），以防止压力过大造成设备损坏；

   3、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。

   4、供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。

   5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；

   6、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

   7、加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，Absolute压力表读数不要大于0.15MPa，须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

服务支持

一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件。）