发布时间: 2026-01-03 浏览次数:443
——面向高端陶瓷、MLCC、LTCC 及精密电子元件的高均匀性、低应力、智能控胶专用热处理设备。 五面均温排胶炉(Five-Side Uniform Temperature Debinding Furnace)是一种专为多层陶瓷器件(如 MLCC、LTCC 模块、陶瓷封装基板)在烧结前高效、无损去除有机粘结剂(排胶/脱脂)而设计的高性能气氛加热炉。其“五面均温”指炉膛内 左、右、前、后、下五个方向均布置加热元件(顶部通常为气流通道或观察窗),通过多区独立控温 + 强制对流,实现 ±2°C 以内的超均匀温场,避免因温度梯度导致的开裂、鼓泡、碳残留等缺陷。  核心使命:在不损伤生坯结构的前提下,彻底、可控、快速地排出有机物(如 PVB、PEG、石蜡、丙烯酸树脂等)。
| 设备特点: 1、采用双层水冷结构,大大地降低了壳体的表面温度; 2、配置抗酸耐腐性能优越的高纯加热元件; 3、采用真空成型工艺制造的耐火保温材料,热损耗小,有效地降低了设备使用功率; 4、一体式的内胆设计构造可确保系统的密封性; 5、NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7英寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,实时加热功率显示,非线性式样温度修正;实验报告自主生成,实验数据无限次导出。 | |||
产品型号 | NBD-VA1700-30TI | |||
电气规格 | AC380V 12KW | |||
可达温度 | 1650℃ | |||
连续温度 | 1600℃(连续) | |||
炉膛尺寸 | 300*300*400mm | |||
系统真空 | ≤100 Pa | |||
推荐加热速率 | ≤20℃/分钟 | |||
控制系统 | 1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置; 2、可预约烧结,实现无人值守烧结工艺曲线烧结; 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据,并可导出实现无纸记录; 4、具有实现远程操控,实时观测设备状态; 5、温度校正:主控温度和试样温度的差值,烧结全程进行非线性修正。 |
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可选配铜电极 |
| 一端在真空腔体内,连接加热元件,另外一端连接铝排变压器电路板,保持真空不泄露。 | ||
弱腐蚀性气体预热器 (可选配)
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| 通体采用316L材料,对于各种气体以及腐蚀性气体的预加热处理,满足特殊的工艺需求,最高温度达600℃ | ||
温度精度 | +/- 1℃ | |||
加热元件 | | |
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耐酸耐腐性能优越的合金加热丝/高纯硅碳棒/硅钼棒加热元件 | ||||
设备使用注意事项 | 1. 设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害; 2. 炉膛连续使用产生的轻微裂纹属于正常现象,不影响设备的正常使用。 | |||
服务支持 | 1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如密封圈等)。 | |||
1. MLCC(片式多层陶瓷电容器)
关键需求:1000+层 Ni/BaTiO₃ 生坯,厚度 <1 mm,排胶时极易分层开裂;
工艺要求:
温度均匀性 ≤±2°C;
升温速率 0.5–2℃/min(200–400℃ 区间);
N₂ + 微量 O₂(<100 ppm)控制碳残留;
设备价值:直接决定良率(高端 MLCC 良率 >95% 依赖排胶炉性能)。
2. LTCC(低温共烧陶瓷)
含玻璃相生坯(烧结温度 850–900℃),有机物含量高;
需在 空气或弱氧化气氛中缓慢排胶,防止 Ag 导体氧化;
五面均温保障大面积基板(>100×100 mm)无翘曲。
3. 陶瓷封装与基板
AlN、Al₂O₃ 陶瓷外壳、功率模块基板;
排胶后需高致密度,要求无碳污染、无微裂纹。
4. 先进结构陶瓷
注射成型(CIM)ZrO₂、Si₃N₄ 齿科/轴承件;
复杂形状生坯依赖均匀排胶避免塌陷。
5. 科研与新材料开发
新型水基/光敏粘结剂的排胶动力学研究;
多材料共烧(如陶瓷-金属)界面应力调控。