高温PECVD系统-管式炉,箱式炉,旋转炉,氢气还原炉,真空炉

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高温PECVD系统

发布时间： 2023-08-24 浏览次数：3967

设备简介：PECVD（等离子增强化学气相沉积）技术是借助于等离子体的辉光放电使得含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜生长的一种制备技术，主要用于硅的氧化物或者氮化物的沉积；高温炉采用的是高纯硅碳棒加热的原理，可以实现高温烧结，适用于大多数材料的热处理以及熔炼工艺，整体采用国际先进制造工艺，并且从美学艺术角度出发，根据人体安全的角度进行设计。它采用PLC控制，触摸屏操作。

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应用领域

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应用案例

	主要特点： 1、高温烧结。 2、控制稳定可靠，操作方便，安全防护措施完善。 3、采用先进的PID自学习模糊控制，控温精度高，保持在±1℃。 4、炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果更好，节能降耗。 5、具有物联网功能（WIFI），可通过手机、电脑远程对设备进行监控，操作。 6、数据存储功能，可保存烧结的重要参数，时长达30天之久（每天开机8小时）。 7、配方功能，可预存配方20条以上。 8、联网功能，通过RJ45接口，采用TCP/IP协议，可以让系统与上位机相连（上位机需安装相应软件）。
型号	NBD-PECVD1500-80TID3ZY
供电电源	单相220V 50HZ
控温精度	±1℃
触摸屏尺寸	7"
射频频率	13.56MHz
射频功率输出范围	0-500W
沉积加热额定功率	3KW
传感器类型	S 型φ8*180mm
沉积最高温度	1500℃
沉积额定温度	1450℃
推荐升温速率	≤5℃/min
炉管材质及规格	刚玉Φ801200mm 外径长度（厚度）
沉积管径	Φ80mm*1200mm
炉膛尺寸	单个温区长175高160深140mm
PECVD外形尺寸	长1500×高1350×深830mm
气氛条件	混合气、真空等
滑动方式	电机驱动同步带
电机转速	3-4转每分钟
一转行程	114mm
推拉最大行程	340mm 炉膛中心到线圈中心的距离
机械泵抽气速率	5m³/h
炉腔极限真空度	3~5Pa
重量	约240KG
设备细节
流程控制画面
控制系统		1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
预约烧结			优化设备利用率、保障烧结工艺稳定性、节省等待时间，实现高效有序的样品制备
实验数据存储			保障数据安全完整、规范化管理与高效检索
非线性温度修正			通过算法非线性修正控温点与样品由于在温场中位置不同而产生的温度偏差，提升控制温度与样品温度的一致性、简化操作，提升实验数据准确。
20组工艺曲线设置			可预设多类实验专属温度程序、保障实验重复性与操作便捷性，支持工艺优化与数据追溯，适配团队协作与技术传承，大幅提升实验效率与设计灵活性。
远程操作			可通过电脑、手机等终端，随时随地登录控制系统查看加热炉运行状态（温度、压力、升温速率等），并根据实验需求远程调整参数、启动 / 暂停程序。夜间或节假日无需往返实验室，即可应对实验过程中的参数微调需求；跨地域出差时也能实时监控关键实验进程，大幅减少无效通勤时间，让科研人员更高效地分配工作精力。
可选配（CRB升级型尾气净化器）		本公司研制的NBD-B型外延炉尾气净化器，在结构上综合采用了2个喷洗室和1个填料柱室，洗涤器所产生的负压由人工手动控制，补水系统由人工根据工艺情况调节。水溶性气体的清除率高达 99.99％。净化效率最高、维护最方便，运行成本最低。
PECVD+CRB升级型尾气净化器应用
重量	约240KG
设备使用注意事项	1. 射频匹配器一般处于自动匹配状态，一般功率需达到50W以上才能匹配； 2. 若采用手动匹配，将功率设到60W左右，手动调谐匹配合适时，再增加功率 3. 工作时，需改变腔体的气流量，先要要把功率设置为零，不能直接按“OFF”按键关闭射频输出。
服务支持	一年有限保修，提供终身支持；