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高温高真空CVD一体机

发布时间： 2022-08-16 浏览次数：3485

设备简介：NBD-CVD系列高温炉整体采用国际先进制造工艺，并且从美学艺术角度出发，根据人体安全的角度进行设计。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊控制，使控温精度保持在±1℃。经过长期多次的各种试样实验验证，几乎可以适用于所有类型材料的焙烧。

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应用案例

	设备设备采用15.6英寸大尺寸全触屏智能人机交互系统，高真空分子泵机组，新一代无油涡旋真空泵作为前级泵，以及高精度气体质量流量控制系统，可以实现样品在高精度气体控制、高温（Tmax：1650℃）条件下的智能化操作。
产品型号	NBD-T1700-80T2G3Z
Tmax	1700℃
额定温度	1650℃
控温精度	±1℃
触摸屏尺寸	15.6英寸
额定功率	10KW
传感器类型	B型
推荐升温速率	≤10/min
炉管尺寸	Ø80*1200mm
极限真空度	6×10-4Pa
炉体外形净尺寸	长1690×高1410×深765mm
预约烧结			优化设备利用率、保障烧结工艺稳定性、节省等待时间，实现高效有序的样品制备。
远程控制			可通过电脑、手机等终端，随时随地登录控制系统查看加热炉运行状态（温度、压力、升温速率等），并根据实验需求远程调整参数、启动 / 暂停程序。夜间或节假日无需往返实验室，即可应对实验过程中的参数微调需求；跨地域出差时也能实时监控关键实验进程，大幅减少无效通勤时间，让科研人员更高效地分配工作精力。
实验数据存储			保障数据安全完整、规范化管理与高效检索。
可预设多组工艺程序			可预设多组实验专属温度程序、保障实验重复性与操作便捷性，支持工艺优化与数据追溯，适配团队协作与技术传承，大幅提升实验效率与设计灵活性。
非线性温度补偿			通过算法非线性修正控温点与样品由于在温场中位置不同而产生的温度偏差，提升控制温度与样品温度的一致性、简化操作，提升实验数据准确。
无油涡旋式干式真空泵（前级泵，具有结构简单，密封性能好，极限真空高等优点。在应用方面具有运行成本低、工作寿命长、可靠性高、噪音低等显著特点，在无油清洁应用领域有着不可比拟的优势。）
控制系统	1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
气体系统（可选购）	流量计类型	浮子流量计				质量流量计
	管道示意图
	进气接口数量	2、3、4（多路可选）
	流量范围	20-200/60-600l/min(多量程可选)				50/100/200sccm(多量程可选)
	工作压差范围	0-0.15MPa
低真空系统（可选购）	真空泵型号		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽气速率		1L/s		3L/s		4L/s
	进排气口尺寸		Φ8mm宝塔接头		Φ8mm宝塔接头		KF16/25
	极限压力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作温度		5-40℃
	电气规格		AC220V
分子泵高真空系统（可选购）	分子泵系统型号		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽气速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空测量计		复合真空计
	极限压力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作温度			5-40℃
	电气规格			AC 220V	AC 220V			AC 380V
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询400-000-3746