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自动进出料立式流化CVD

发布时间: 2026-02-13    浏览次数:584

     双温区流化床CVD炉,最高硫化温度1200℃,额定功率为7KW。流化腔为120石英管,流化床气孔10~16Uμm,实验时样品放置于上部可控温度的硫化腔中,底部反应气加热后进入硫化腔,使粉末在炉体加热区域悬浮硫化,粉末和反应气体反应沉积生成新的物质。炉管两端配有不锈钢法兰密封总成。FBCVD 立式流化床凭借连续化生产能力、气流均匀性、高空间利用率及高温稳定性,在多领域有核心应用。锂电池领域,可规模化制备硅碳负极(连续进料出料,碳层厚度误差 ±5%),并对三元、富锂正极进行氧化物或低温碳包覆,提升循环稳定性。核燃料领域,用于 TRISO 颗粒多层包覆,确保高温下 SiC 和 PyC 涂层致密性,保障裂变产物隔离。热管理材料方面,在氧化铝颗粒表面生长石墨烯,制备高热导率热界面材料。催化领域可均匀负载金属活性组分,提升反应效率。还用于钠离子电池材料改性及环保吸附剂功能化,是高性能材料规模化量产的关键设备。

  

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应用领域
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设备特点:

1、自动进出料,双层壳体结构并带有风冷系统,使得壳体表面温度小60℃

2、采用真空成型工艺制作的耐火保温材料,热损耗小,有效地降低了设备的使用功率;

3、加热区设计为侧方开启式,以方便与更换流化床

4、触摸屏操作,直观显示温度、压力、流量等信息

5、具有全程非线性温度修正;

6、具有预约烧结功能,节约烧结时间;

7、温区管式炉可有效设置实验温度梯度和偏差,也可设置相同目标温度从而保证温场均匀性(根据实际要求请联系我们) 

     设备型号                       NBD-LTO1200-80/100TP2D2F2YW
     升温速率

1℃-20℃/Min

额定功率

8KW

传感器类型

K型热电偶

Tmax

≤20℃/分钟

额定温度

1150℃

炉膛有效空间

 Φ150*(300mm+300mm

主控炉膛材料

高纯多晶纤维复合耐火保温层

炉体外形净尺寸

1105×高435×深665mm

真空系统

双级旋片真空泵

系统真空 3~5pa, 电压,防护等级 IP55;进气口 KF16 接口,排气口为KF25 标准接口

控制系统

 

1.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7英寸真彩触屏输入,

智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;

2.可预存15条工艺曲线,每条曲线均可设置30段“时间-温度”节点,省去了重复修改曲线的时间;

3.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能;

预约烧结优化设备利用率、保障烧结工艺稳定性、节省等待时间,实现高效有序的样品制备
非线性温度修正通过算法非线性修正控温点与样品由于在温场中位置不同而产生的温度偏差,提升控制温度与样品温度的一致性、简化操作,提升实验数据准确。
数据存储保障数据安全完整、规范化管理与高效检索
远程操控可通过电脑、手机等终端,随时随地登录控制系统查看加热炉运行状态(温度、压力、升温速率等),并根据实验需求远程调整参数、启动 / 暂停程序。夜间或节假日无需往返实验室,即可应对实验过程中的参数微调需求;跨地域出差时也能实时监控关键实验进程,大幅减少无效通勤时间,让科研人员更高效地分配工作精力。
可预设多组工艺程序可预设多类实验专属温度程序、保障实验重复性与操作便捷性,支持工艺优化与数据追溯,适配团队协作与技术传承,大幅提升实验效率与设计灵活性。

温度精度

+/- 1℃

加热元件

Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

密封法兰结构

不锈钢密水冷封法兰

物料收集系统

双级不锈钢粉尘分离器(分离效率95%

自动进料系统

自动加料装置

炉管材质

采用高纯度石英材质作为炉管,具有良好的耐高温、耐腐蚀性能,适合在高真空或特定气氛中加热样品,保持样品纯净度。

弱腐蚀性气体预热器

(可选配)

通体采用316L材料,对于各种气体以及腐蚀性气体的预加热处理,满足特殊的工艺需求,最高温度达600℃。

净重

200KG

设备使用注意事项

1.设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

2.炉膛连续使用产生的轻微裂纹属于正常现象,不影响设备的正常使用;

服务支持

1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件)。

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自动进出料立式流化 CVD(FB‑CVD)核心优势是连续化、颗粒 / 粉末均匀包覆、高一致性、规模化生产,最适合粉末 / 颗粒材料的批量气相沉积、包覆与纳米材料合成,应用覆盖新能源、半导体、先进碳材料、催化、航空航天等领域。

一、新能源材料(最核心应用)

  • 锂电池硅碳负极:多孔碳 / 石墨颗粒流化态下,硅烷热解沉积纳米硅 + 乙炔包覆碳层,解决硅体积膨胀问题,提升容量与循环寿命。

  • 固态电解质 / 正极包覆:LLZO、LATP 等固态电解质粉末致密化;三元 / 磷酸铁锂表面包覆 Al₂O₃、Li₃PO₄,提升稳定性与循环。

  • 钠离子电池 / 固态电池:硬碳、普鲁士蓝类正极表面改性,提升离子电导与界面稳定性。

二、先进碳材料(规模化量产首选)

  • 碳纳米管(CNT)批量合成:流化床内催化剂颗粒流化生长多壁 / 单壁碳管,连续出料,适合导电剂、复合材料、散热材料。

  • 石墨烯 / 碳包覆:粉末表面生长石墨烯或无定形碳,提升导电性、抗氧化、耐腐蚀。

  • 多孔碳 / 活性炭改性:表面沉积金属 / 氧化物纳米颗粒,用于超级电容、吸附、催化。

三、半导体与电子材料

  • 晶圆级粉末 / 微球沉积:SiC、GaN、金刚石微粉表面沉积半导体薄膜,用于功率器件、射频、MEMS。

  • 高 k 介质 / 金属电极:HfO₂、ZrO₂、TiN 等在陶瓷 / 金属粉末表面沉积,用于 MLCC、栅极、封装材料。

  • 量子点 / 纳米颗粒合成:CdSe、PbS、Si 量子点连续制备,用于显示、传感、光伏。

四、催化与环保

  • 催化剂制备 / 改性:流化态下负载 Pt、Pd、Ni、Fe 基催化剂,或对分子筛、氧化铝粉末进行包覆 / 掺杂,用于 VOCs 治理、加氢、重整、制氢。

  • 环保材料:TiO₂、ZrO₂光催化剂粉末批量制备;活性炭负载金属用于脱硫脱硝、水处理。

五、航空航天与高温材料

  • 陶瓷基复合材料(CMC):SiC、C/C 粉末 / 纤维预制体表面沉积 SiC、BN 界面相,提升高温强度与抗氧化。

  • 高温合金 / 金属粉末包覆:Ti、Ni 基合金粉末表面沉积 Al₂O₃、Y₂O₃,用于 3D 打印、热障涂层、航空发动机部件。

  • 硬质涂层:TiN、TiC、CrN 在刀具 / 模具粉末表面沉积,提升硬度与耐磨性。

六、其他前沿领域

  • 光学 / 光电材料:光纤涂层、太阳能电池 CIGS、透明导电氧化物(ITO、AZO)粉末制备。

  • 生物医用:医用钛粉、羟基磷灰石表面沉积生物相容性涂层,用于植入物、药物载体。

  • 粉末冶金 / 陶瓷:金属 / 陶瓷粉末烧结前的均匀包覆与活化,提升致密度与性能。


自动进出料的核心价值

  • 连续化生产:顶部进料、底部出料,实现 24h 不间断运行,产能提升 10–100 倍。

  • 均匀性:流化态使颗粒受热与气相接触一致,包覆厚度 CV<5%,批次稳定性强。

  • 低损耗:无机械搅拌,颗粒破碎少;气体利用率高,降低成本。

  • 工艺可控:温度、气速、停留时间精准调控,适合纳米级、亚微米级沉积。


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