发布时间： 2022-10-29 浏览次数：2625
设备简介：诺巴迪液气CVD一体机，通过高精度氧分析仪确保无氧工作环境。物料在基于旋转摆振结构的石英腔内，能够在稳定均匀的温场内，最大程度地与反应气体充分接触。独有悬挂式气相发生器，能够在工作腔摆振的同时，始终保持水平稳定输出。多路质量流量控制器，可精确控制气体流量。高密封性连接工艺，确保可燃性气体及有毒有害气体无任何泄露，高灵敏度压力传感器及电磁阀可保证工作腔室内的压力始终在设定范围。易燃易爆及有毒有害气体检测仪与设备联动，可及时获取实时数据并采取相应闭合措施，同时，两个报警仪在超出设定警戒值时发出预警提示。工作腔室排出的尾气通过尾气处理罐进行无害化处理。
| 1.通过高精度氧分析仪确保无氧工作环境； 2.物料在基于旋转摆振结构的异形石英腔内，能够在稳定均匀的温场内，最大程度地与反应气体充分接触； 3.独有悬挂式气相发生器，能够在工作腔摆振的同时，始终保持水平稳定输出； 4.多路质量流量控制器，可精确控制气体流量； 5.高密封性连接工艺，确保可燃性气体及有毒有害气体无任何泄露，高灵敏度压力传感器及电磁阀可保证工作腔室内的压力始终在设定范围； 6.易燃易爆及有毒有害气体检测仪与设备联动，可及时获取实时数据并采取相应闭合措施，同时，两个报警仪在超出设定警戒值时发出预警提示； 7.工作腔室排出的尾气通过尾气处理罐进行无害化处理。 | ||||||||
产品型号 | NBD-RT1200-120T2D5ZYW-N | ||||||||
供电电源 | 三相380V 50HZ | ||||||||
控温精度 | ±1℃ | ||||||||
| 额定功率 | 8KW | ||||||||
| 测温元件类型 | K型热电偶 250mm | ||||||||
| Tmax | 1100℃ | ||||||||
| 加热温区尺寸 | φ150*430mm | ||||||||
| 炉管材质 | 高纯石英 | ||||||||
| 炉管容积 | 5L | ||||||||
| 样品有效容积 | 500ml | ||||||||
| 倾斜角度 | -20度（出料）~3度（进料） | ||||||||
| 炉管转速 | 0.1~12.6转/每分钟 | ||||||||
| 炉体尺寸 | 长1550×深830×高1360mm（含乙炔报警器2160mm） | ||||||||
推荐升温速率 | 10℃/min | ||||||||
重量 | 约260KG | ||||||||
| 控制系统 |
| 1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； | |||||||
弱腐蚀性气体预热器 （可选配） |  | 通体采用316L材料，对于各种气体以及腐蚀性气体的预加热处理，满足特殊的工艺需求，最高温度达600℃。 | |||||||
设备使用注意事项 | 1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2、炉膛连续使用产生的轻微裂纹属于正常现象，不影响设备的正常使用； | ||||||||
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