发布时间： 2026-02-27 浏览次数：273
本设备是一款专为高纯度材料气相沉积与物理蒸馏实验设计的专用炉型。设备集感应加热技术、高真空腔体、耐高温石墨坩埚与手动倒料机构于一体，能够在极限真空或保护性气氛下稳定工作。其最高加热温度可达1700℃+，能够满足氧化亚硅（SiO）、金属单质、合金及多种化合物蒸发镀膜、蒸馏提纯的苛刻工艺要求。 设备采用紧凑化与模块化设计，兼具实验室研发的精准性与中试生产的可靠性，是各大科研院所、新能源材料及特种陶瓷企业制备高纯沉积材料的理想选择 。
 | 设备特点： 1. 高效感应加热，温场均匀 · 加热方式：采用高频感应加热技术，热效率高，加热速度快。感应线圈与真空室隔离设计，可有效避免污染，保证材料制备的高纯度 。 · 高温能力：额定工作温度可达1700℃以上，配合专用石墨坩埚，能够处理高沸点、难挥发的材料。 · 温区均匀性：优化设计的感应线圈结构，确保坩埚区域温区温差控制在极小范围内（如±5℃以内），保证物料反应与蒸发的均匀性 。 2. 高真空/高温腔体设计 · 腔体结构：真空腔体采用304不锈钢双层水冷结构，炉壁温度低，有效隔绝热辐射，保障操作人员安全 。 · 真空性能：配备高性能真空机组（可选配分子泵或扩散泵+机械泵）。高温下保持良好的真空度，有效防止物料氧化，确保蒸镀膜层质量与纯度 。 3. 专业石墨坩埚与手动倒料系统 · 石墨坩埚：标配高纯高密石墨坩埚，具有优异的耐高温性（远超1700℃）、抗热震性和化学惰性，适用于绝大多数金属与非金属材料的熔融与蒸发。 · 手动倒料机构：针对沉积/蒸馏工艺后的残料处理或合金浇铸需求，设备配置了手动悬臂倒料/翻料机构 。操作者可精准控制倾倒角度，实现物料的便捷回收或浇铸，结构精巧可靠，避免了电动机构在高温真空环境下的复杂性与故障率。 4. 精准控温与智能监测 · 双模式控温： · 标准配置：采用钨铼热电偶进行接触式测温，控温精度高，数据稳定可靠，适合常规工艺 。 · 选配升级：针对1700℃以上极端温度或特殊工况，可选配红外测温仪，实现非接触式精准监测，响应速度快，不受蒸汽污染影响 。 · 智能控制：采用PLC+触摸屏控制系统，可实时记录温度-真空度曲线，支持数十组工艺在线编辑、存储与调用，具备高度的自动化与数据可追溯性 。 | |
设备名称 | 真空气氛感应蒸馏炉 | |
规格型号 | NBD-VAHP2000-1KGTIDFY50L | |
供电电源 | AC 380V 50HZ | |
额定功率 | 16KW | |
加热原理 | 感应加热 | |
真空腔体尺寸 | Φ390*325mm | |
前石英观察窗尺寸 | 长108*宽33mm | |
传感器类型 | 钨铼热电偶φ0.5*400mm | |
建议温度 | ≤1700℃ | |
推荐升温速率 | ≤100℃/min | |
感应线圈规格 | Φ107*φ92*84mm Φ79*φ62*72mm | |
石墨坩埚规格 | Φ75.5*φ60*105mm（约220ml） Φ47*φ35*88.5mm（约70ml） | |
石墨油槽坩埚规格 | 内50*47*16mm(最大熔金量500g) 内90*40*20mm（最大熔金量1000g） | |
浮子流量计 | 0.2-2L/min | |
进气口 | Φ6.35mm双卡套 | |
出气口 | Φ8.4mm宝塔头 | |
抽真空口 | KF25 | |
真空泵 | DRV10 KF25接头 | |
水冷机容量 | 12L | |
工艺结束物料倒出瞬间 |
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炉体尺寸 | 长1055*高1540*深880mm | |
操作系统 |
| 1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正 |
| 预约烧结 |  | 优化设备利用率、保障烧结工艺稳定性、节省等待时间，实现高效有序的样品制备 |
| 非线性温度修正 |  | 通过算法非线性修正控温点与样品由于在温场中位置不同而产生的温度偏差，提升控制温度与样品温度的一致性、简化操作，提升实验数据准确。 |
| 数据存储 |  | 保障数据安全完整、规范化管理与高效检索 |
| 远程操控 |  | 可通过电脑、手机等终端，随时随地登录控制系统查看加热炉运行状态（温度、压力、升温速率等），并根据实验需求远程调整参数、启动 / 暂停程序。夜间或节假日无需往返实验室，即可应对实验过程中的参数微调需求；跨地域出差时也能实时监控关键实验进程，大幅减少无效通勤时间，让科研人员更高效地分配工作精力。 |
| 可预设多组工艺程序 |  | 可预设多类实验专属温度程序、保障实验重复性与操作便捷性，支持工艺优化与数据追溯，适配团队协作与技术传承，大幅提升实验效率与设计灵活性。 |
| 压力测量与监控 |
| 采用机械压力表，表外壳为气密型结构，能有效保护内部机件免受环境影响和杂物侵入，同时具有较强的耐腐蚀和耐高温的能力。 |
| 供气系统 |
| 采用浮子流量计控制气体流速，与设备集成为一体，且出厂前已进行漏气测试工作。 |
| 发货现场 |  | |
净重 | 约280KG | |
设备使用注意事项 | 1.设备使用时，绝对压力表读数不要大于0.15MPa，以防止压力过大造成设备损坏； 2.真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。 | |
服务支持 | 一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管和O形圈，请在下面的相关产品处订购更换件。） | |
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该设备专为沉积与蒸馏工艺设计，广泛应用于以下领域：
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